[Claims] 研摩ヘッドによりウェハに加えられる力に対して要求される化学機械研摩圧の変換精度向上のための分解能向上特性を用いる装置および方法
【特許請求の範囲】 【請求項1】 化学機械研磨において、演算処理のために、ウェハに加えられる圧力値の圧力範囲の中で所望の値を正確に表す方法であって、 前記圧力範囲のスケール区分を規定するために、前記圧...
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