because of #03

このような核生成に関する問題点があるために、従来のシリコン源と成膜プロセスを用いることによって、２つ又はそれ以上の異なったタイプの表面を有する基板上に、同じ物理的性質を持つＳｉ含有材料の薄いフィルムを成膜することには、大きな問題がある。

Because of thesenucleation issues, deposition of thin film Sicontaining materials with similar physical properties onto substrates having two or more different types of surfaces using conventional silicon sources and deposition methods is often problematic.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

●because of
・He decided to attend the concert in part because of his friendship with the conductor. 彼が音楽会に行くことにしたのは一つには指揮者が友人だからだった
・It was largely because of you that he failed. 彼が失敗したのは大部分は君のせいだ
・Because of illness, I was unable to accompany them. 病気のため彼らと一緒に行けなかった.
（研究社　新編英和活用大辞典より引用）