カンマ＋including #06

その他の膜成長パラメータには、反応器全体の圧力、反応物質の分圧及び反応物質の流量が含まれ、これらを含む膜成長パラメータも、混合基板に形成される膜の品質に強い影響を及ぼす。

Other deposition parameters, including total reactor pressure, reactant partial pressure and reactant flow rate can also strongly influence the quality of depositions over mixed substrates.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用