特許の英語（特許翻訳分野）: 半導体の製造技術分野

2008年1月 9日 (水)

半導体の製造技術分野では、基板表面上への材料の成膜に、様々な方法が用いられている。

A variety of methods are used in the semiconductor manufacturing industry to deposit materials onto surfaces.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

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