be particularly useful for NOUN

ここで説明するプロセスは、様々の混合基板上に、Ｓｉ含有フィルムを成膜するのに有効であるが、形態がミックスされた表面を有する基板に対して、特に有効である。

The processes described herein are useful for depositing Si-containing films on a variety of mixed substrates, but are particularly useful for substrates having mixed surface morphologies.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用