特許の英語（特許翻訳分野）: demonstrate

2008年2月11日 (月)

従来のシリコン前駆体は、既に実証されているように、シリコン酸化物などの絶縁体上には核生成しにくいことが裏付けられている。

Conventional silicon precursors demonstrate well-documented poornucleation over dielectrics, such as silicon oxide.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

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