be deposited over
この成膜温度で、エピタキシャル領域260が、単結晶面220に形成され、非晶質シリコン領域(非エピタキシャル領域)240が、非晶質面230に形成される。
At this deposition temperature, an epitaxial region 260 is deposited over the single crystal surface 220 and an amorphous silicon region 240 is deposited over the amorphous surface 230.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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