be preferably delivered to

トリシランは、所定時間、目標の厚さを有するＳｉ含有フィルムを形成するのに効果的な供給速度で、混合基板表面に供給することが好ましい。

Trisilane is preferably delivered to the mixed substrate surface for a period of time and at a delivery rate that is effective to form a Si-containing film having the desired thickness.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用