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2008年3月26日 (水)

having+PPで始まる文

単結晶面220をエピタキシャル成長に適するように処理した後、約575℃の温度で、単結晶面220と非晶質面(絶縁体面)230にトリシランを供給することによって、混合形態のシリコンのフィルム210を成膜する。

Having rendered the single crystal surface 220 an active area suitable for epitaxial deposition, the mixed-morphology silicon film 210 is then deposited at a temperature of about575 C by deliveringtrisilane to the single crystal surface220 and to the amorphous surface 230.

特許公表2005-503000
WO02065517より引用

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