illustrated embodiment #02

図示した例では、フィルム２８０は、ＳｉＧｅ、ＳｉＧｅＣなどのＳｉとＧｅを含有する（「ＳｉＧｅ含有」）材料である。

In the illustrated embodiment, the film 280 is a silicon germanium-containing ("SiGe-containing") material such as SiGe or SiGeC.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用