特許の英語（特許翻訳分野）: mixed-morphology

2008年3月18日 (火)

１つの好ましい実施の形態の場合には、混合形態のＳｉ含有フィルムを、混合基板上に成膜する。

In a preferred embodiment, a mixed-morphology Si-containing film is deposited onto the mixed substrate.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

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