while 一方

また、非晶質のフィルムは、低い温度の非晶質及び多結晶の基板表面に形成されやすい。一方、多結晶フィルムは、比較的高い成膜温度で、非晶質及び多結晶の表面に形成される傾向がある。

Amorphous film formation is favored over amorphous and polycrystalline substrate surfaces at low temperatures, while polycrystalline films tend to form over amorphous and polycrystalline surfaces at relatively high deposition temperatures.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用