as discussed below 以下に説明するように
なお、以下に説明するように、SiGeの成長を容易にするために、領域260は、エピタキシャル層であることが好ましく、領域240は、非晶質又は多結晶であることが好ましい。
The region 260 is preferably epitaxial, and the region 240 is preferably amorphous or polycrystalline, to facilitate SiGe deposition as discussed below.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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