be changed to
第3に、流量を、30秒間20sccmに変化させた。
Third, the flow was changed to 20 sccm for 30 seconds.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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第3に、流量を、30秒間20sccmに変化させた。
Third, the flow was changed to 20 sccm for 30 seconds.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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