特許の英語（特許翻訳分野）: be deposited at

2008年4月15日 (火)

このフィルム４２２（それ）は、約６００℃の温度で、厚さ約５００Åに成膜される。

It is deposited at a deposition temperature of about600 C and has a thickness of about 500A.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

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