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第５に、ジボランの流量を一定に維持し、ゲルマンの流量を３０秒間、１０ｓｃｃｍに減らした。
Fifth, the diborane flow was held constant and the germane flow was reduced to 10 sccm for 30 seconds.
特許公表２００５－５０３０００WO02065517より引用
2008年4月25日 (金) WIPO & IPDL, 技術英語一般 | 固定リンク
