call for 要求する
これらの処理工程の中で、この領域におけるエッチングが要求されるので、これらの成膜条件でも、単結晶面520上の領域550で、多結晶形態となる傾向がある。
These deposition conditions also tend to produce a polycrystalline morphology in the region 550 over the single-crystal surface 520, since the process flow calls for etching in this region.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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