composition

シリコン、ゲルマニウム、炭素、ドーパントなどのフィルム中の元素の相対的な割合は、上記のように、供給ガスの組成を変えることによって制御することが好ましい。

The relative proportions of elements in the film, e. g., silicon, germanium, carbon, dopants, etc., are preferably controlled by varying the feed gas composition as discussed above.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

＊composition
【化学】 組成： 化合物, 混合物を構成する元素や材料の割合. 通常原子比または重量百分率で表わす
（研究社　理化学英和辞典より引用）