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2008年4月23日 (水)

露出している exposed

厚さ約50Åのヒ素がドープされた連続した非晶質シリコンフィルムを、露出している酸化物上に形成した。

A continuous, arsenic-doped, amorphous silicon film having a thickness of about 50A was deposited on the exposed oxide.

特許公表2005-503000
WO02065517より引用

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