flow rate

次に、流量９０ｓｃｃｍ(inject)のトリシリルアルシン（１００ｐｐｍ、２ｓｌｍの超高純度水素ガスと混合された９０ｓｃｃｍ）及び２０ｓｌｍの超高純度水素ガスを伴う、水素ガス／トリシランの混合物を、９０ｓｃｃｍの流量で、１５秒間反応室に導入した。

The hydrogen/trisilane mixture, along with a flow of 90 sccm (inject) of trisilylarsine (100 ppm, 90 sccm mixed with 2slm ultra-pure hydrogen) and 20 sim ultra-pure hydrogen, was then introduced into the reactor at a flow rate of 90 sccm for 15 seconds.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用