物理的特性

すべての層におけるすべてのフィルムの物理的特性は、すべての面にわたって、厚さ、元素の含有量ともに極めて均一であった。

All of the film physical properties for all of the layers were highly uniform with respect to thickness and elemental concentration uniformity across the entire surface.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用