浸漬（しんせき）

次に、加熱された基板にトリシランの蒸気を供給するために、高純度水素ガスを、液体トリシラン（室温に維持されたウォータバスに浸漬された、トリシランを含むバブラ）中に通した。

Pure hydrogen gas was then passed through liquid trisilane (maintained at room temperature using a water bath around the bubbler containing the trisilane) in order to deliver trisilane vapor to the heated substrate.

特許公表２００５－５０３０００
WO02065517より引用

【化】 dipping; immersion.
高温浸漬 high temperature immersion.
浸漬タンク a dipping tank.
浸漬電極 a dipping electrode.
浸漬めっき immersion plating.
（研究社　新和英大辞典第５版より引用）