保持する
第2に、ゲルマンの流量を、30秒間、30sccmの一定量に保持した。
Second, the germane flow was held constant at 30 sccm for 30 seconds.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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第2に、ゲルマンの流量を、30秒間、30sccmの一定量に保持した。
Second, the germane flow was held constant at 30 sccm for 30 seconds.
特許公表2005-503000
WO02065517より引用
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