as demonstrated in --

ＳｉＧｅフィルムを走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した結果、図６及び図７に示したＳＥＭ写真に表されているように、アイランドタイプの成長を示すピラミッド型のカットされた(faceted)粒となっていることが明らかとなった。

Scanning electron microscopy (SEM) of the SiGe film revealed pyramidal, faceted grains indicative of an island-type deposition, as demonstrated in the SEM micrographs shown in Figures 6 and 7.